真空燒結爐是可進行真空燒結的的工藝，是半導體專用設備中一種新穎的工藝裝備，可用于其他領域內的真空熱處理工藝。當燒結爐出現冷卻水異常怎么辦? 　　發現工業爐出現異常時，要先確認加熱電源是否已經停止。如果真空燒結爐爐外發生漏水，冷卻水量異常時，應立即采取一些應急措施。如能保證水量，繼續保持真空;如不能則保持原狀，確認設備冷卻下來。 　　如果冷卻水出現異常時，真空燒結爐處于停止狀態，則立刻接通緊急用冷卻水。在保持高溫時，冷卻水就會停止，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵極有可能會被損壞。 　　因此，在使用高溫熱處理爐、真空速凝爐等此類工業爐時，一定要注意冷卻水是否異常，要時常檢查設備，做好平日的維護，才能延長設備使用年限。

　　真空燒結爐是用于金屬注射成型制品、粉末冶金制品、不銹鋼基、硬質合金、超合金、高比重合金等的燒結。 　　在真空中，各種金屬氧化物的蒸氣壓低，可促使氧化物分解與排除，因而真空燒結爐處理的零件表面光亮度高。 　　燒結任務不飽滿時，可將真空燒結爐做一些拓展，如真空釬焊;銅及銅合金真空退火;鋼鐵件光亮退火與回火。 　　如果燒結爐任務量不足，可拓展工藝范圍。既保證其正常運行，又可以為周邊制造業增加好的加工方法。