真空燒結爐遇到的故障要怎么解決呢 　　任何機器使用時間久了都會出現一些的問題，下面就真空燒結爐出現故障之后該怎么辦給大家介紹下。 　　真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體保護燒結及常規燒結，是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝裝備，它設計構思新穎，操作方便，結構緊湊，在一臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理，真空釬焊等工藝。 　　一、如果是冷卻水異常 　　1、確認加熱電源已停止。 　　2、真空燒結爐外發生漏水，冷卻水量異常時，應盡快采取應急措施，如能保證水量，請繼續保持真空，如不能采取應急措施，保持原狀，確認設備冷卻下來。 　　3、冷卻水發生異常時，真空燒結爐處于停止狀態，馬上接通緊急用冷卻水。 　　4、在高溫(超過200℃即視為高溫)時，如果冷卻水停止了，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。 　　二、真空燒結爐壓縮空氣的停止 　　1、壓縮空氣異常報警時，設備處于停止狀態，應盡快到備用的壓縮機房，讓真空燒結爐恢復工作。 　　2、真空中如壓縮空氣異常報警，且恢復需要較長時間時，則終止真空，讓真空熔煉爐停下來。

　　真空燒結爐的抽真空流程　　真空燒結爐的抽真空流程通常包括以下步驟：　　1、關閉爐門，將爐腔密封?！　?、打開爐腔內的氣體排放閥門，將爐內氣體排放至外部?！　?、打開爐腔內的氣體進氣閥門，將真空泵的進氣管連接至爐腔?！　?、打開真空泵的電源，啟動真空泵，開始抽真空?！　?、根據需要，可以使用氦氣檢漏儀等設備檢查爐腔的真空度。　　6、當達到所需真空度時，關閉氣體進氣閥門和氣體排放閥門，停止真空泵?！　?、等待爐腔內溫度升至所需溫度后，可以開始進行燒結工藝?！　?、燒結結束后，需要先將爐腔冷卻至室溫，再打開氣體排放閥門，將爐腔內的氣體排放至外部?！　?、后打開爐門，取出燒結樣品。